自动化清洗设备解决方案_信息与通信_工程科技_专业资料

自动化清洁设备解决方案自动化清洁设备解决方案日期：200 8. 9. 12系统介绍：系统介绍根据英特尔摩尔定律，晶圆工艺每18个月将翻倍。该领域不断扩大，其生产过程和系统稳定性需要同时提高数十倍甚至数百倍。因此，半导体制造商必须改善设备制造工艺以满足客户的需求，并且已经出现了12'晶圆清洗设备。半导体12'晶圆清洗设备适用于高精度和昂贵的晶圆生产工艺，并且需要较高的加工条件和精度。近年来自动化清洗设备，大多数制造商已将这些机器集成到智能功能和集成的节能功能中。系统要求：系统要求。传统的半导体设备开发习惯于采用“ PLC +触摸屏”作为主要系统集成。当设备较大到一定程度时，其运动控制技术和配置将面临严峻挑战。因此，如果仅是普通的“ PLC +”的“触摸屏”方法就会遇到很多问题，例如：设备的巨大尺寸增加了布线的复杂性和系统运输的难度，则高速数据采集超过了100通道和精确模拟输出的实时性能以及多于60个轴的多轴联动控制集成开发的困难，操作系统的长期稳定性和稳定性，难以访问大量参数公式的困难解决方案：解决方案IPPC-4000D FPM-3150G PCI-1758UDIO PCI-1724U PCI-1747U PCI-1202U AMAX-2241 / PMA AMAX-2756SY PCI-1671 5. 7'VGA TFT LCD 4U 19'机架安装型工业自动化机箱，带有7个扩展插槽15'LCD（Direct-VGA端口）工业平板显示器128通道隔离的数字I / O通用PCI卡14位，32通道隔离肛门的og输出卡250kS / s，16位，64通道通用PCI卡2端口AMONet RS-485 PCI主卡带AMONet接口的4轴运动控制从模块32通道隔离数字量输入/输出从模块，用于PCI总线计算机高端性能的IEEE-48 8. 2系统架构图：系统架构图系统说明：系统说明该系统使用IPPC-4000D双核高性能控制器，并结合了数据采集卡（PCI-1724U，PCI-1747U自动化清洗设备，PCI -1785UDIO）和分布式运动控制解决方案PCI-1202U，AMAX -2241，AMAX-2756SY，构建了当今半导体行业最稳定，最先进的自动化系统，并控制晶圆生产中的所有化学材料部署，清洁和运输过程过程。

AMAX系列从模块和高精度驱动电机之间的完美集成实现了复杂的晶圆运输。通过结合高速数字量的输入和输出控制，可以确保准确确定晶片的生产位置，监视所有化学剂量操作的精度以及集成控制的集成和优化。晶圆清洗设备内部控制60组电机，300点数字输入和100点模拟输入和输出，并通过GPIB接口和仪表完成药物的制备和监控。该系统提供了丰富的通讯端口，并支持各种系统设备，例如按钮，指示灯，生产数据存储和驱动马达。利用Microsoft嵌入式系统和开发系统的集成优势，可以轻松实现人机界面和数据库的转换和存储，并且可以通过以太网端口将生产数据上传到后端数据库。结论：结论：该系统通过集成双核控制器，各种数据采集卡，分布式运动控制方案和各种功能模块，大大缩短了系统的响应时间，并有效地提高了生产的精度和稳定性。基于AMONet分布式体系结构的高度稳定和高效的运动通信机制，结合模块化和前线设计功能，可以轻松构建各种大型测试设备和长距离生产线。同时，AMONet的灵活结构可以满足方便的设备拆卸和组装需求自动化清洗设备，从而大大降低了运输和维护的风险。该系统增加了电子测量数据，计算机，网络通讯，实时自动控制，设备自动调整和系统自诊断等功能，确保了生产的可靠性和控制的精度，提高了生产的质量和效率。